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RF/DC電源&Matching Box修理

  • アネルバ製 RF/DC電源

    PRF-035B (RF) PRF-065B (RF)
    MRF-075B (RF) MRF-246 (RF)
    PDC-307 (DC)

  • AE製 RF/DC電源

    PEP-5000 MDX-1000

  • RFPP製 RF/DC電源

    LF-5 LF-24
    RF30S 3Kw RF20S 2Kw
    RF10S 1Kw RF 5S 500w

                
  • ADTEC社製 RF電源

    AX-2000

                       
  • パール工業社製 RF電源

    RP3000-00K

                       
  • ダイヘン社製 RF電源

    MFG15SA MFG20SA
    DRF10SA

                       
  • KYOSAN社製

    RF電源 SP-5RKI-D
    SP-5RKI/RF DC電源
    HPK5ZI

                       
  • 東京応化社製 RF電源

    RF801-400

                       
  • NI社製 RF電源

    OEM-12A OEM-25N
    ACG-10

                         

各種電源ユニット修理

  • ウシオ社製

    ランプ電源 VB-5020IBY

  • アネルバ社製

    真空計 MIG-721
    真空計 MIG-821
    真空計 MIG-920
    オリフィスコントローラー CMS-201
    オリフィスコントローラー CMS-301

  •                  
                              
            
修理実績表−1
修理実績表−2
修理実績表−3
修理実績表−4
修理実績表−5
修理実績表−6