修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

弊社では、装置メーカーや電源メーカーの修理対応が終了したRF電源やDC電源を始め各種電源修理を行っております。古い電源など生産終了したパワートランジスタやICなど、あらゆる半導体素子を世界各国から探し当て修理を行っております。回路図や取扱説明書など無い電源もベテランのエンジニアが回路解析を行い沢山の電源を修理してきました。 また、メーカーオリジナルのハイブリッドICなども解析を行い弊社のオリジナルICを製作して修理対応させて頂いたなど、修理するために長年蓄積させたノウハウで対応させて頂きます。

  • 温度調節器
  • 基板
  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他

弊社では、装置メーカーや電源メーカーの修理対応が終了したRF電源やDC電源を始め各種電源修理を行っております。古い電源など生産終了したパワートランジスタやICなど、あらゆる半導体素子を世界各国から探し当て修理を行っております。回路図や取扱説明書など無い電源もベテランのエンジニアが回路解析を行い沢山の電源を修理してきました。 また、メーカーオリジナルのハイブリッドICなども解析を行い弊社のオリジナルICを製作して修理対応させて頂いたなど、修理するために長年蓄積させたノウハウで対応させて頂きます。

No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1227 ロボット ASYST ロボット(ULVAC ZI-1000) UTC-100
1228 ロボット ASYST ロボット(ULVAC SRH) (OFH-3000)
1229 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-7800) UTX-5000
1230 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-7800) UTX-2500
1231 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-5700) UTX-5000
1232 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-5700) UTV-2500
1233 ロボット RORZE ロボット(ULVAC ENTRON300) -
1234 ロボット RORZE ロボット(ULVAC ENTRON200) -
1235 ロボット BROOKS ロボット(SEN NV-GSD) ATM
1236 ロボット BROOKS(PRI) ロボット(NOVELLUS SPEED) ATM
1237 ロボット RORZE ロボット(NOVELLUS CONCEPT) RR-701
1238 ロボット RORZE ロボット(KEM RAE-8500) RR-304
1239 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-471P-S) UTC
1240 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-431P-S) UTC
1241 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-421P-S) UTC
1242 ロボット ASYST ロボット(ASM-J EAGIE-10) UTX-1200P(OF-250)
1243 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000W) RR-602
1244 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000Etch) RR-602
1245 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000) RR-602
1246 ロボット BROOKS ロボット(A-MAT ENDURA) ATM-400
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1227 ロボット ASYST ロボット(ULVAC ZI-1000) UTC-100
1228 ロボット ASYST ロボット(ULVAC SRH) (OFH-3000)
1229 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-7800) UTX-5000
1230 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-7800) UTX-2500
1231 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-5700) UTX-5000
1232 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-5700) UTV-2500
1233 ロボット RORZE ロボット(ULVAC ENTRON300) -
1234 ロボット RORZE ロボット(ULVAC ENTRON200) -
1235 ロボット BROOKS ロボット(SEN NV-GSD) ATM
1236 ロボット BROOKS(PRI) ロボット(NOVELLUS SPEED) ATM
1237 ロボット RORZE ロボット(NOVELLUS CONCEPT) RR-701
1238 ロボット RORZE ロボット(KEM RAE-8500) RR-304
1239 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-471P-S) UTC
1240 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-431P-S) UTC
1241 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-421P-S) UTC
1242 ロボット ASYST ロボット(ASM-J EAGIE-10) UTX-1200P(OF-250)
1243 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000W) RR-602
1244 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000Etch) RR-602
1245 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000) RR-602
1246 ロボット BROOKS ロボット(A-MAT ENDURA) ATM-400