修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

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  • 基板
  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1457 マッチャー RFPP マッチングBOX 7004-0020-4 7500000010 SE10001
1458 ポンプ ANELVA クライオポンプ CAP-80MKⅡ
1459 ポンプ HELIX クライオポンプ Torr-10
1460 ロボット DAIHEN 搬送ロボット UTX-FS5501RW-037
1463 電源 松定プレシジョン ソースアーク電源 PR150-7-18
1464 ポンプ SHIMADZU ターボ分子ポンプ TMP-1000LK
1465 ポンプ SHIMADZU ターボ分子ポンプ TMP-280L
1470 ポンプ HELIX クライオポンプ OB-8F
1471 ポンプ Leybold ターボ分子ポンプ TMO340MC
1477 モニター Japan Aviation Electronics TFTモニター UT3-15BX1RD11001
1480 電源 THAMWAY RFアンプ A161-6566A
1487 モニター Advanced Energy CRTミニター MDX-5K
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1457 マッチャー RFPP マッチングBOX 7004-0020-4 7500000010 SE10001
1458 ポンプ ANELVA クライオポンプ CAP-80MKⅡ
1459 ポンプ HELIX クライオポンプ Torr-10
1460 ロボット DAIHEN 搬送ロボット UTX-FS5501RW-037
1463 電源 松定プレシジョン ソースアーク電源 PR150-7-18
1464 ポンプ SHIMADZU ターボ分子ポンプ TMP-1000LK
1465 ポンプ SHIMADZU ターボ分子ポンプ TMP-280L
1470 ポンプ HELIX クライオポンプ OB-8F
1471 ポンプ Leybold ターボ分子ポンプ TMO340MC
1477 モニター Japan Aviation Electronics TFTモニター UT3-15BX1RD11001
1480 電源 THAMWAY RFアンプ A161-6566A
1487 モニター Advanced Energy CRTミニター MDX-5K