修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

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  • 基板
  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1428 電源 FARNELL フィラメント電源 A1000/5V
1429 電源 FARNELL フィラメント電源 A1000/05
1430 モータードライバー NSK RS0810FN544/EP0810AF8-05
1435 モータードライバー UDX5114
1438 電源 LAMBDA EMI ELSアークパワーサプライ EMS150-13-5-D-GB7A (11B6518-D/00473368)
1440 電源 KYOSAN RF電源 SP-5RKI/RF
1441 ポンプ Leybold ターボ分子ポンプコントローラー NT-340M
1442 ポンプ EDWARDS ターボ分子ポンプ STP-H1000K
1443 ポンプ 大阪真空 ターボ分子ポンプコントローラー TD3252
1445 モータードライバー OLYMPUS MOTOR DRIVER DBCP10CA52CDB
1446 電源 SEN corporation PS (PR25-25-1) 11E3890 REV:B2
1447 電源 LAMBDA PS 11D8128 EMS7.5-250-5-D-GB100
1448 電源 RFPP RF電源 RF5S
1449 電源 MATSUSADA PS PR600-1.6-96(11B4731)
1450 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS75-250-5-D-GB100
1451 モーター STOBER モーター PF-116
1452 ポンプ Leybold ターボ分子ポンプ TMP340MC
1453 モータードライバー OMRON AC SERVO DRIVER R88D-UA08HA
1454 その他 STEC (HORIBA) マスフロー SEC-4400MC-057
1456 モータードライバー OLYMPUS AC SERVO DRIVER BC10CA52CACDN
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1428 電源 FARNELL フィラメント電源 A1000/5V
1429 電源 FARNELL フィラメント電源 A1000/05
1430 モータードライバー NSK RS0810FN544/EP0810AF8-05
1435 モータードライバー UDX5114
1438 電源 LAMBDA EMI ELSアークパワーサプライ EMS150-13-5-D-GB7A (11B6518-D/00473368)
1440 電源 KYOSAN RF電源 SP-5RKI/RF
1441 ポンプ Leybold ターボ分子ポンプコントローラー NT-340M
1442 ポンプ EDWARDS ターボ分子ポンプ STP-H1000K
1443 ポンプ 大阪真空 ターボ分子ポンプコントローラー TD3252
1445 モータードライバー OLYMPUS MOTOR DRIVER DBCP10CA52CDB
1446 電源 SEN corporation PS (PR25-25-1) 11E3890 REV:B2
1447 電源 LAMBDA PS 11D8128 EMS7.5-250-5-D-GB100
1448 電源 RFPP RF電源 RF5S
1449 電源 MATSUSADA PS PR600-1.6-96(11B4731)
1450 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS75-250-5-D-GB100
1451 モーター STOBER モーター PF-116
1452 ポンプ Leybold ターボ分子ポンプ TMP340MC
1453 モータードライバー OMRON AC SERVO DRIVER R88D-UA08HA
1454 その他 STEC (HORIBA) マスフロー SEC-4400MC-057
1456 モータードライバー OLYMPUS AC SERVO DRIVER BC10CA52CACDN