修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

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  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1399 ポンプ ANELVA クライオコンプレッサー CRC420
1402 電源 LAMBDA EMI DC電源 P/N:004731373 REV:A
(11A1583)
EMS600-1.6-2-D-GB7A
1403 電源 THAMWAY RF電源 A161-6566B
1405 モータードライバー UDX5114
1407 電源 EMS
ELECTRONIC MEASUREMENTS
DC電源 EMS7.5-300-2-D
00473029(1205000)
1408 電源 ANELVA RF電源 PRF-246C
1409 電源 ANELVA DC電源 PDC-207B
1412 電源 LAMBDA(SEN) ソースカソード電源 EMS600-1.6-2-D-GB7A (11C2733C)
1413 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D-GB100(11C2881)
1414 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D-GB100(11C2881)
1415 電源 THAMWAY RF電源 A161-6566A
20S0298-C1.1
1416 電源 ION TECH,INC RF電源 RF-2070 NEUTRALIZER
1418 電源 SFA-1000
1419 電源 ION TECH,INC RF電源 RF-2070 NEUTRALIZER
1421 電源 松定プレシジョン ソースマグネット電源 PR25-25-21
1422 電源 KYOSAN RF Generator RFK100ZDTG1
1423 電源 ANELVA RF電源 PRF-065C
1424 電源 ANELVA DC電源 PDC-157E
1426 電源 VARIAN DC電源 VPW2870A1
1427 電源 FARNELL フィラメント電源 A1000/5
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1399 ポンプ ANELVA クライオコンプレッサー CRC420
1402 電源 LAMBDA EMI DC電源 P/N:004731373 REV:A
(11A1583)
EMS600-1.6-2-D-GB7A
1403 電源 THAMWAY RF電源 A161-6566B
1405 モータードライバー UDX5114
1407 電源 EMS
ELECTRONIC MEASUREMENTS
DC電源 EMS7.5-300-2-D
00473029(1205000)
1408 電源 ANELVA RF電源 PRF-246C
1409 電源 ANELVA DC電源 PDC-207B
1412 電源 LAMBDA(SEN) ソースカソード電源 EMS600-1.6-2-D-GB7A (11C2733C)
1413 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D-GB100(11C2881)
1414 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D-GB100(11C2881)
1415 電源 THAMWAY RF電源 A161-6566A
20S0298-C1.1
1416 電源 ION TECH,INC RF電源 RF-2070 NEUTRALIZER
1418 電源 SFA-1000
1419 電源 ION TECH,INC RF電源 RF-2070 NEUTRALIZER
1421 電源 松定プレシジョン ソースマグネット電源 PR25-25-21
1422 電源 KYOSAN RF Generator RFK100ZDTG1
1423 電源 ANELVA RF電源 PRF-065C
1424 電源 ANELVA DC電源 PDC-157E
1426 電源 VARIAN DC電源 VPW2870A1
1427 電源 FARNELL フィラメント電源 A1000/5