修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

  • 温度調節器
  • 基板
  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1376 電源 ANELVA RF電源 PRF-246
1378 モニター Yushin 99H268AD
1379 モータードライバー NSK RZ0810FN507
EP0810AF3-05
1380 ポンプ Leybold NT-340M
1381 電源 LAMBDA EMI ソースカソード電源 EMS600-1.6-2-D
1382 コントローラー MITSUBISHI PROGRAMMABLE CONTROLLER A62DA-S1
1383 ポンプ EBARA コールドヘッド HT018-RS
1384 ポンプ Leybold ターボ分子ポンプ TMP340MC
1385 モータードライバー OLYMPUS DBCP10CA52CDB
1386 ポンプ ANELVA クライオポンプ CAP121SA06155
1387 電源 LAMBDA PS EMS7.5-250-5-D-GB100
1388 電源 AXCELIS HV電源 389077
1389 電源 VARIAN DC電源 VPW2870B1
1390 電源 VARIAN DC電源 VPW2870B1
1392 電源 ADVANCED ENERGY DC電源 RFX-600
3155002-005E
1393 電源 NRF technology RF電源 NR1 1N200M-02
1394 電源 NRF technology RF電源 NR1 1N200M-02
1396 電源 THAMWAY RF電源 A161-6566A
1397 ポンプ HELIX クライオポンプ Torr-8
1398 ポンプ ANELVA クライオポンプ CAP121GA
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1376 電源 ANELVA RF電源 PRF-246
1378 モニター Yushin 99H268AD
1379 モータードライバー NSK RZ0810FN507
EP0810AF3-05
1380 ポンプ Leybold NT-340M
1381 電源 LAMBDA EMI ソースカソード電源 EMS600-1.6-2-D
1382 コントローラー MITSUBISHI PROGRAMMABLE CONTROLLER A62DA-S1
1383 ポンプ EBARA コールドヘッド HT018-RS
1384 ポンプ Leybold ターボ分子ポンプ TMP340MC
1385 モータードライバー OLYMPUS DBCP10CA52CDB
1386 ポンプ ANELVA クライオポンプ CAP121SA06155
1387 電源 LAMBDA PS EMS7.5-250-5-D-GB100
1388 電源 AXCELIS HV電源 389077
1389 電源 VARIAN DC電源 VPW2870B1
1390 電源 VARIAN DC電源 VPW2870B1
1392 電源 ADVANCED ENERGY DC電源 RFX-600
3155002-005E
1393 電源 NRF technology RF電源 NR1 1N200M-02
1394 電源 NRF technology RF電源 NR1 1N200M-02
1396 電源 THAMWAY RF電源 A161-6566A
1397 ポンプ HELIX クライオポンプ Torr-8
1398 ポンプ ANELVA クライオポンプ CAP121GA