修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

  • 温度調節器
  • 基板
  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1351 電源 ENI RF電源 PL-2HF-11451-55
1352 電源 AE/DRESSLER RF電源 CESAR 136
1353 モニター PRO FACE
DEGITAL ELECTRONICS
3080028-03
GP2301H-LG41-24V
1354 電源 KYOSAN RF電源 HPK20-1000D
1355 電源 ANELVA DC電源 PDC-157E
1357 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D-GB100
1358 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D-GB100
1359 電源 KYOSAN DC電源 15Z-S1
1360 ポンプ HELIX 9600用
1361 ポンプ HELIX OB-8F
1362 モータードライバー NSK RS0810FN544
EP0810AF5-05
1363 コントローラー ANELVA CMS-301
1364 ポンプ HELIX OB-8F
1365 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D100
1366 ポンプ ANELVA CAP80MKⅡSJ
1368 ポンプ SHIMADZU TMP-280L
1369 電源 THAMWAY RF電源 A161-6566B
1370 電源 MATSUSADA ソースフィラメント電源 PR10-60-97
1372 ポンプ HELIX CT-8
1373 ポンプ HELIX OB-8F
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1351 電源 ENI RF電源 PL-2HF-11451-55
1352 電源 AE/DRESSLER RF電源 CESAR 136
1353 モニター PRO FACE
DEGITAL ELECTRONICS
3080028-03
GP2301H-LG41-24V
1354 電源 KYOSAN RF電源 HPK20-1000D
1355 電源 ANELVA DC電源 PDC-157E
1357 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D-GB100
1358 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D-GB100
1359 電源 KYOSAN DC電源 15Z-S1
1360 ポンプ HELIX 9600用
1361 ポンプ HELIX OB-8F
1362 モータードライバー NSK RS0810FN544
EP0810AF5-05
1363 コントローラー ANELVA CMS-301
1364 ポンプ HELIX OB-8F
1365 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-5-D100
1366 ポンプ ANELVA CAP80MKⅡSJ
1368 ポンプ SHIMADZU TMP-280L
1369 電源 THAMWAY RF電源 A161-6566B
1370 電源 MATSUSADA ソースフィラメント電源 PR10-60-97
1372 ポンプ HELIX CT-8
1373 ポンプ HELIX OB-8F