修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

  • 温度調節器
  • 基板
  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1327 電源
1328 電源 ANELVA BOX A12-68552-02
1329 コントローラー Aera APCコントローラー PC-72
1330 電源 SEN PR600-1.6-19
1331 電源 KYOSAN RF電源 RFK05ZF-AN3
1332 ポンプ ANELVA CRC-874
1333 ポンプ ANELVA CRC-420
1334 ポンプ HELIX OB-8F
1336 その他 SONY LY-105
1337 制御機器 MITSUBISHI CPUユニット A3ACPU21
1338 電源 モリエンジニアリング RF電源 SFA-300EX
1339 電源 AE DC電源 MDX-500
(3152261-011A)
1340 モータードライバー DBCP10CA52CDB
1343 コントローラー MITSUBISHI PROGRAMMABLE CONTROLLER AD71-S2
1345 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-D-GB100 (11C2881)
1346 ポンプ HELIX Torr-10
1347 ポンプ HELIX Torr-8
1348 電源 RFPP BOX 7004-0021-1
7624923010
1349 電源 RFPP BOX 7004-0021-1
7624923010
1350 電源 RFPP BOX 7004-0100-1
7621020010
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1327 電源
1328 電源 ANELVA BOX A12-68552-02
1329 コントローラー Aera APCコントローラー PC-72
1330 電源 SEN PR600-1.6-19
1331 電源 KYOSAN RF電源 RFK05ZF-AN3
1332 ポンプ ANELVA CRC-874
1333 ポンプ ANELVA CRC-420
1334 ポンプ HELIX OB-8F
1336 その他 SONY LY-105
1337 制御機器 MITSUBISHI CPUユニット A3ACPU21
1338 電源 モリエンジニアリング RF電源 SFA-300EX
1339 電源 AE DC電源 MDX-500
(3152261-011A)
1340 モータードライバー DBCP10CA52CDB
1343 コントローラー MITSUBISHI PROGRAMMABLE CONTROLLER AD71-S2
1345 電源 LAMBDA プラズマシャワーフィラメント電源 EMS7.5-250-D-GB100 (11C2881)
1346 ポンプ HELIX Torr-10
1347 ポンプ HELIX Torr-8
1348 電源 RFPP BOX 7004-0021-1
7624923010
1349 電源 RFPP BOX 7004-0021-1
7624923010
1350 電源 RFPP BOX 7004-0100-1
7621020010