修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

  • 温度調節器
  • 基板
  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1299 コントローラー Aera EK113PCVコントローラー PC-72
1300 コントローラー Aera EK113PCVコントローラー PC-72
1301 コントローラー ANELVA CMS-301
1302 電源 KYOSAN RF電源 HPK5-10
1303 コントローラー FLUKE INSTRUMENT CONTROLLER 1722A
1304 制御機器 INFICON IC5-11111
1305 電源 LAMBDA EMI Fil電源 TCR7.5S200-1-D
1306 電源 LAMBDA EMI Fil電源 TCR7.5S200-1-D
1312 電源 LAMBDA EMS7.5-250-5-D-GB100
1313 ポンプ HELIX OB-8
1314 ポンプ MAG2000
1315 モータードライバー UDX5114
1318 電源 SEN PR600-1.6-19
1319 電源 SEN PR600-1.6-19
1320 ロボット UTX-FS5501RW-037
1321 ポンプ CAP120
1322 ポンプ HELIX Torr-8
1324 制御機器 Misubishi PROGRAMMABLE CONTROLLER AJ71C24-S6
1325 電源 SPIN AMP電源 BDS3-230/55-28-220
1326 ポンプ TMP-280L
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1299 コントローラー Aera EK113PCVコントローラー PC-72
1300 コントローラー Aera EK113PCVコントローラー PC-72
1301 コントローラー ANELVA CMS-301
1302 電源 KYOSAN RF電源 HPK5-10
1303 コントローラー FLUKE INSTRUMENT CONTROLLER 1722A
1304 制御機器 INFICON IC5-11111
1305 電源 LAMBDA EMI Fil電源 TCR7.5S200-1-D
1306 電源 LAMBDA EMI Fil電源 TCR7.5S200-1-D
1312 電源 LAMBDA EMS7.5-250-5-D-GB100
1313 ポンプ HELIX OB-8
1314 ポンプ MAG2000
1315 モータードライバー UDX5114
1318 電源 SEN PR600-1.6-19
1319 電源 SEN PR600-1.6-19
1320 ロボット UTX-FS5501RW-037
1321 ポンプ CAP120
1322 ポンプ HELIX Torr-8
1324 制御機器 Misubishi PROGRAMMABLE CONTROLLER AJ71C24-S6
1325 電源 SPIN AMP電源 BDS3-230/55-28-220
1326 ポンプ TMP-280L