修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

  • 温度調節器
  • 基板
  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1241 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-421P-S) UTC
1242 ロボット ASYST ロボット(ASM-J EAGIE-10) UTX-1200P(OF-250)
1243 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000W) RR-602
1244 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000Etch) RR-602
1245 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000) RR-602
1246 ロボット BROOKS ロボット(A-MAT ENDURA) ATM-400
1247 ロボット RORZE ロボット(A-MAT CENTURA) RR-304
1248 ロボット MECS コントローラー UTX-1000
1249 ロボット MECS コントローラー UT0820Z
1250 ロボット YASUKAWA Rθロボット YSBL-CHA
1251 ロボット MECS UTC800Pロボット UTC800P
1252 ロボット MECS UTC800Pロボット UTC800P
1253 ロボット ASYST OF-250 OF-250
1254 ロボット RORZE ロボット RR454L150-111-002
1255 ロボット RORZE ロボット RR454L150-111-002
1256 ロボット YASUKAWA RΘロボット XU-RCM0410(YSBL-CHA)
1257 制御機器 MITSUBISHI 位置決めユニット AD71-S2
1258 制御機器 Aera 圧力コントローラ PC-72
1259 制御機器 MITSUBISHI PROGRAMMABLE CONTROLLER AX40Y50C
1260 制御機器 YASUKAWA 制御機器電源モジュール JRMSP-P8601
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1241 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-421P-S) UTC
1242 ロボット ASYST ロボット(ASM-J EAGIE-10) UTX-1200P(OF-250)
1243 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000W) RR-602
1244 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000Etch) RR-602
1245 ロボット RORZE ロボット(A-MAT P5000) RR-602
1246 ロボット BROOKS ロボット(A-MAT ENDURA) ATM-400
1247 ロボット RORZE ロボット(A-MAT CENTURA) RR-304
1248 ロボット MECS コントローラー UTX-1000
1249 ロボット MECS コントローラー UT0820Z
1250 ロボット YASUKAWA Rθロボット YSBL-CHA
1251 ロボット MECS UTC800Pロボット UTC800P
1252 ロボット MECS UTC800Pロボット UTC800P
1253 ロボット ASYST OF-250 OF-250
1254 ロボット RORZE ロボット RR454L150-111-002
1255 ロボット RORZE ロボット RR454L150-111-002
1256 ロボット YASUKAWA RΘロボット XU-RCM0410(YSBL-CHA)
1257 制御機器 MITSUBISHI 位置決めユニット AD71-S2
1258 制御機器 Aera 圧力コントローラ PC-72
1259 制御機器 MITSUBISHI PROGRAMMABLE CONTROLLER AX40Y50C
1260 制御機器 YASUKAWA 制御機器電源モジュール JRMSP-P8601