修理実績
MAINTENANCE

修理実績一覧
MAINTENANCE

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  • 基板
  • コントローラー
  • 真空計
  • 電源
  • 制御機器
  • パソコン
  • ポンプ
  • マッチャー
  • モーター
  • モータードライバー
  • モニター
  • ロボット
  • その他
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1221 ロボット NECS ロボット(キャノン MAS-801) UTC-200/208WP
1222 ロボット NECS ロボット(キャノン MAS-8000) UTW3100P
1223 ロボット NECS ロボット(キャノン MAS-1800) UTW3400P
1224 ロボット ASYST ロボット(岡本製作所 PNX) UTX-F5000
1225 ロボット ASYST ロボット(WJ WJ-999) UTC-100
1226 ロボット ASYST ロボット(WJ WJ-1000) UTC-1100
1227 ロボット ASYST ロボット(ULVAC ZI-1000) UTC-100
1228 ロボット ASYST ロボット(ULVAC SRH) (OFH-3000)
1229 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-7800) UTX-5000
1230 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-7800) UTX-2500
1231 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-5700) UTX-5000
1232 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-5700) UTV-2500
1233 ロボット RORZE ロボット(ULVAC ENTRON300) -
1234 ロボット RORZE ロボット(ULVAC ENTRON200) -
1235 ロボット BROOKS ロボット(SEN NV-GSD) ATM
1236 ロボット BROOKS(PRI) ロボット(NOVELLUS SPEED) ATM
1237 ロボット RORZE ロボット(NOVELLUS CONCEPT) RR-701
1238 ロボット RORZE ロボット(KEM RAE-8500) RR-304
1239 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-471P-S) UTC
1240 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-431P-S) UTC
No 分類 メーカー 物品名 パーツ番号
(形式)
1221 ロボット NECS ロボット(キャノン MAS-801) UTC-200/208WP
1222 ロボット NECS ロボット(キャノン MAS-8000) UTW3100P
1223 ロボット NECS ロボット(キャノン MAS-1800) UTW3400P
1224 ロボット ASYST ロボット(岡本製作所 PNX) UTX-F5000
1225 ロボット ASYST ロボット(WJ WJ-999) UTC-100
1226 ロボット ASYST ロボット(WJ WJ-1000) UTC-1100
1227 ロボット ASYST ロボット(ULVAC ZI-1000) UTC-100
1228 ロボット ASYST ロボット(ULVAC SRH) (OFH-3000)
1229 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-7800) UTX-5000
1230 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-7800) UTX-2500
1231 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-5700) UTX-5000
1232 ロボット ASYST ロボット(ULVAC NE-5700) UTV-2500
1233 ロボット RORZE ロボット(ULVAC ENTRON300) -
1234 ロボット RORZE ロボット(ULVAC ENTRON200) -
1235 ロボット BROOKS ロボット(SEN NV-GSD) ATM
1236 ロボット BROOKS(PRI) ロボット(NOVELLUS SPEED) ATM
1237 ロボット RORZE ロボット(NOVELLUS CONCEPT) RR-701
1238 ロボット RORZE ロボット(KEM RAE-8500) RR-304
1239 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-471P-S) UTC
1240 ロボット ASYST ロボット(HITACHI DM-431P-S) UTC