主な業務

半導体製造装置用機構部品製造販売及び修理(オーバーホール)
液晶・太陽電池・LED製造装置用機構部品製造販売
蒸着装置機構部品製造販売

※材料のみの販売も行います。(希望サイズに切断致します)
製造・製作弊社では、オン注入・DVD・CVD・エッチャー・CMPといった半導体製造の中でも主に前工程の消耗パーツや改造部品の製造を行っております。また、蒸着用のドームや、ヤトイ(ホルダー)、さらに液晶製造用成膜治具等の製作も行っております。
主な加工材料ステンレス(SUS)・チタン(Ti)・アルミニューム(AL)・銅(Cu)・ニッケル(Ni)・インコネル(INC)・モリブデン(Mo)・タングステン(W)・タンタル(Ta)等。

金属部品

Calmp RingShower PlateウエハーカセットランプリフレクターアークチャンバーC2用Shower Head